Vibrationsunabhängige Interferometrie-Messungen

© Foto Mahr GmbH

Vibrationsunabhängiger Fizeau-Interferometer

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Verschiedene Auswertungsbeispiele

Die Mahr GmbH aus Göttingen präsentiert mit dem System »MarOpto FI 3100 VB« ein Fizeau-Interferometer, das mittels simultanem Phase-Shifting drei Interferogramme gleichzeitig aufnehmen und zu einer 3D-Topographie verrechnen kann. Das Messsystem ist robust gegenüber Vibrationen, arbeitet mit einer Belichtungszeit von lediglich 10 μs und einer systematischen Messunsicherheit von kleiner 15 nm. Konzipiert ist es für den Einsatz im fertigungsnahen Umfeld und findet vor allem in der Automobilindustrie und im Maschinenbau bei der Prüfung von planen und sphärischen Werkstücken Anwendungsfelder.

Das System ist zu 100 Prozent unempfindlich gegenüber Vibrationen, wodurch auch bei Schwingungen in der Installationsumgebung mit hoher Genauigkeit gemessen werden kann. Durch die geringe Messunsicherheit (kleiner 15 nm) können auch an optischen und polierten Oberflächen kleine Formabweichungen bestimmt und bewertet werden. Zudem ermöglicht die Belichtungszeit von 10 µs Messungen von thermodynamischen Effekten bzw. von sich schnell bewegenden Objekten. Ebene Bauteile aus der Automobilindustrie bzw. dem Maschinenbau können mithilfe des Systems bis auf wenige Nanometer genau gemessen werden. Auch plane und sphärische Werkstücke werden zudem innerhalb von Sekunden aufgenommen. Dabei werden Abweichungen der Oberflächengeometrie erfasst und quantifiziert.

Zum Einsatz kann das System beispielsweise bei der Prüfung der Oberflächengüte und der Ebenheit an Kolbenringen, Dichtungen und Lagerkugeln kommen. Aber auch Prüflinge in größerer Entfernung sind aufgrund der langen Kohärenzlänge des Lasers messbar, ebenso wie Oberflächen mit Reflexionsgraden von 0,1 bis 100 Prozent.