Neue Tubuslinse ermöglicht schnelle Inspektionsprozesse mit Submikron-Genauigkeit bei großem Betrachtungsfeld

Bildgestützte Mikroinspektionssysteme benötigen zur Defekterkennung oder Vermessung von Oberflächen-Mikrostrukturen immer höher auflösende Kameras und Optiken mit objektanpassbaren Bildgebungsmethoden. Die Qioptiq Photonics GmbH & Co. KG aus Feldkirchen präsentiert daher eine neue Tubusoptik mit einer Vergrößerung von 1,73x für das Mikroskop-System »mag.x system 125«, das für große Sensoren bis 57 mm Diagonale konzipiert wurde. Die Optik wurde speziell für Sensoren mit dem Kleinbildformat entwickelt und ermöglicht industrielle Inspektionsprozesse mit einer sub-Mikrometer-Genauigkeit auch auf einem großen Objektfeld. Das System »mag.x system 125« ermöglicht als digitales Großfeldmikroskop die Verwendung von Mikroskop-Technologien für die Inline-Qualitätssicherung und wird zusammen mit der neuen Optik z. B. bei der Prüfung der Fertigungsqualität von Displays und Halbleiterprodukten oder bei der Fluoreszenzmikroskopie eingesetzt.

Um die hohe Auflösung des Systems nutzen zu können, ist eine exakte Fokussierung auf das Messobjekt erforderlich. Zur Vereinfachung der Fokussierung im automatisierten Umfeld wurde eine komplette modulare Autofokus-Lösung in das System integriert. Somit können Technologien aus dem Mikroskopie-Bereich für die Inspektion ausgedehnter Flächen und Objekte mit großen Flächen- oder Zeilensensoren angewendet werden. Durch den Wegfall von Stitching und die Verwendung leistungsfähiger Sensoren erlaubt das System eine Verkürzung von Taktraten bei gleichzeitiger Verbesserung der Auflösung des Inspektionssystems.

Mit ihrer hohen Auflösung eignet sich die vorgestellte Kombination aus Tubuslinse und Mikroskop-System für exakte Dimensionsmessungen und vielfältige Inspektionsaufgaben. Durch die neue Optik wurde das Anwendungsspektrum des Systems erweitert, da viele Aufgabenstellungen nun mit einem Durchsatz umsetzbar sind, der industrielle Anforderungen erfüllt. Gleichzeitig liefert das System die nötige Auflösung, um kleinste Fehler detektieren zu können.

© Foto Qioptiq Photonics GmbH & Co. KG

Die neue Tubuslinse 1,73x für das Mikroskopsystem »mag.x 125« ermöglicht schnelle Inspektionsprozesse mit Submikron-Genauigkeit bei großem Betrachtungsfeld