Rekonstruktion hochporöser Strukturen

FIB-REM ist eine Serienschnitttechnik, die es ermöglicht, Materialstrukturen mit Auflösungen im Bereich < 10 nm räumlich abzubilden. Es ist jedoch schwierig, die feste Komponente aus dem resultierenden Stapel von REM-Bildern zu rekonstruieren, weil tieferliegende Strukturen in die aktuelle Ebene "durchscheinen". Der morphologische Segmentierungsalgorithmus vom Fraunhofer ITWM löst dieses Problem. Um die Segmentierungsqualität zu bewerten, wurde eine Methode entwickelt, um realitätsnahe synthetische FIB-REM-Bilder poröser Strukturen zu simulieren.

Synthetisches REM-Bild eines Booleschen Modells
© Fraunhofer ITWM

Synthetisches REM-Bild eines Booleschen Modells

Segmentierungsergebnis
© Fraunhofer ITWM

Segmentierungsergebnis

Falsch klassifizierte Pixel
© Fraunhofer ITWM

Falsch klassifizierte Pixel (11% im Ausschnitt)