Mikroskopsysteme für Inspektion und Hochgeschwindigkeits-Fertigungskontrolle mit Submikron-Genauigkeit

Die Excelitas Technologies GmbH & Co. KG aus Wiesbaden und die Qioptiq Photonics GmbH & Co. KG aus Feldkirchen präsentieren verschiedene Mikroskopsysteme und Objektive, die in den Bereichen Inspektion, Machine Vision, Materialprüfung und berührungslose Vermessung eingesetzt werden können. Die Technologien finden sowohl in der Forschung als auch in der industriellen Fertigung Anwendung und erlauben oftmals eine Hochgeschwindigkeits-Fertigungskontrolle mit Submikron-Genauigkeit.

Das vorgestellte Mikroskopsystem »mag.x System 125« eignet sich für hochauflösende Bildsensoren mit Diagonalen bis 57 mm und weist ein deutlich größeres Objektfeld als herkömmliche Systeme auf. Dank der hohen numerischen Apertur der Objektive und einer guten Korrektur über das gesamte Bildfeld hinweg, sind Inspektionen von Strukturen bis in den Submikrometerbereich mit hohen Geschwindigkeiten möglich, z. B. bei der Prüfung der Fertigungsqualität von Displays und Halbleiterprodukten. Das Mikroskopsystem erlaubt zudem sehr variable Konfigurationen von rein optischen Aufbauten bis hin zur Ausstattung mit koaxialer Beleuchtung und integriertem Autofokus.

Mikroskopsystem mag.x System 125
© Qioptiq Photonics GmbH & Co. KG

Mikroskopsystem mag.x System 125 für hochauflösende Sensoren bis 57 mm Diagonale und X-Cite-Lichtquelle

Objektive der Produktlinie inspec.x L
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Objektive der Produktlinie inspec.x L

Die Linsen der ebenfalls vorgestellten Produktlinie »inspec.x L« können mit Sensoren bis 82 mm Diagonale eingesetzt werden. Sie eignen sich z. B. für die weitverbreiteten 12k/5 µm-Sensoren oder für 16k/5 µm-Zeilensensoren. Mit der Vielzahl an verfügbaren Ausführungen lassen sich Objekte in einem großen Maßstabsbereich von 0.2x bis 5.0x abbilden. Alle Objektive sind industrietauglich ausgelegt und mit allen gängigen Kameraanschlüssen kompatibel.

Mikroskopsystem Optem FUSION
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Das Mikroskopsystem Optem FUSION mit vielfältigen Anbauoptionen

Das ausgestellte Micro-Imaging-System »Optem FUSION« ermöglicht durch sein modulares Design überdies eine große Flexibilität in der Systemkonfiguration. Damit ergeben sich vielfältige Einsatzmöglichkeiten in den Bereichen Inspektion, Machine Vision, Materialprüfung und kontaktlose Vermessung. Zusammen mit dem neuen Zoomobjektiv »Fetura+« kann ein Zoombereich von 12,5:1 erreicht werden. Als weitere Optionen stehen eine fokusvariable Linse für schnelle und exakte Fokussierung zur Verfügung sowie zahlreiche Strahlteiler- und Umlenkeinheiten.

Bei der korrekten Auswahl der passenden Objektivlösung für eine beliebige Messaufgabe hilft die Software »MachVis«, die unter www.qioptiq.com/machvis kostenfrei zum Download bereitsteht. Anhand der Parameter Messobjektgröße, Arbeitsabstand, Sensorgröße und Kameraanschluss schlägt sie geeignete Objektive vor. Anwender können ihre Lösung einschließlich Anbauoptionen konfigurieren.