Fraunhofer-Gesellschaft
InfiniteFocus ist ein 3D-Messgerät zur Qualitätskontrolle von technischen Oberflächen im Mikro- und Nanobereich. Steile Flanken, große Rauheiten und stark reflektierende, inhomogene Materialien werden mit einer vertikalen Auflösung von bis zu 20 nm gemessen. Die 3D-Analyse erfolgt direkt im optischen Farbbild.
Das Funktionsprinzip basiert auf der geringen Schärfentiefe einer optischen Vergrößerung. Die Oberfläche einer Probe wird vertikal gescannt. Aufgrund dieser Fokus-Variation generiert das Messgerät sowohl die topographische als auch die registrierte Farbinformation einer Probenoberfläche. Der Anwender erhält einen 3D-Datensatz mit genauer topographischer Information. Die Kombination aus kompletter Farbinformation und 3D-Daten eröffnet bisher ungekannte Möglichkeiten zur Quantifizierung einer Oberfläche. Rückführbare Kalibrierung ermöglicht die Verifikation der Messergebnisse.
InfiniteFocus wird sowohl im Labor als auch in produktionsnaher Umgebung eingesetzt. Eine Reihe von Funktionen und Analysen kann zusätzlich automatisiert werden. InfiniteFocus erfüllt die Anforderungen an ein genaues und schnelles Messinstrument für die 3D-Tiefenanalyse und Oberflächeninspektion.
