Ellipsometrie zur Inline-Prüfung von gekrümmten Oberflächen und Beschichtungen

Bestellen Sie hier den »Leitfaden zur Inspektion und Charakterisierung von Oberflächen mit Bildverarbeitung«!

In der industriellen Produktion gewinnen dünne funktionale Schichten immer mehr an Bedeutung. Dies betrifft nicht nur die gesamte Photonikbranche, sondern zunehmend weitere Bereiche wie die Automobilindustrie, die Beschichtung von Metallen oder die Glasproduktion. Zur Verbesserung der Produktion (Regelung, Minimierung des Ressourceneinsatzes etc.) und zur Qualitätssicherung sind daher Messsysteme erforderlich, mit denen eine 100-Prozent-Kontrolle der produzierten Funktionsflächen möglich ist.

Eine Methode zur Vermessung von Oberflächen mit sehr dünnen Beschichtungen ist die Ellipsometrie. Dabei wird ein gerichteter Lichtstrahl mit definierter Polarisation aus einer Lichtquelle abgestrahlt, an der zu untersuchenden Probe entsprechend dem Reflexionsgesetz reflektiert und in einer Empfangseinheit detektiert. Ein Signal wird hierbei nur detektiert, wenn der Sender bzw. Empfänger bezüglich der Oberflächennormale so ausgerichtet ist, dass das Reflexionsgesetz erfüllt ist. Bei geneigter Oberfläche wird kein Signal detektiert.

Den vollständigen Beitrag können Sie im »Leitfaden zur Inspektion und Charakterisierung von Oberflächen mit Bildverarbeitung« nachlesen.