Weißlichtinterferometrie in der industriellen Qualitätssicherung

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Weißlichtinterferometer eignen sich für die sehr genaue Erfassung der Topographie von Oberflächen. Sie werden einerseits häufig für Forschungs- und Entwicklungsaufgaben eingesetzt. Daneben kommen sie auch in der industriellen Qualitätssicherung zum Einsatz, um Funktionsoberflächen hinsichtlich ihrer Toleranzen bezüglich Geometrie, Form oder Texturparametern zu prüfen. Im Folgenden werden einige repräsentative Anwendungen vorgestellt.

Gerade bei der Bestimmung der Topographie von Flächen können optische Verfahren wie zum Beispiel die Weißlichtinterferometrie aufgrund ihrer kurzen Messzeit eine wesentlich höhere Informationsdichte liefern als taktile Methoden. Dies verdeutlicht die Messung einer Fein-Honstruktur, bei der feinste Strukturen aufgelöst werden, aber auch Unterbrechungen der Riefen bzw. Poren. Solche Oberflächen sind auch ein Beispiel dafür, dass kleine Verschiebungen eines Linienprofils selbst bei einem Parameter wie Ra sehr unterschiedliche Werte ergeben können. In dem gezeigten Beispiel einer Fein-Honstruktur wurde ein Weißlichtinterferometer verwendet, welches eine sehr hohe Pixelauflösung besitzt. Außerdem kam ein S-Filter gemäß ISO 25178-3 zur Rauschunterdrückung zum Einsatz, dessen Cut-Off-Frequenz kleiner ist als die optische laterale (Rayleigh) Auflösung. Somit bleiben trotz S-Filter alle Strukturen sichtbar.

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