Kommerziell verfügbare Systeme zur Detektion von Oberflächenverunreinigungen mithilfe der Fluoreszenzanalyse erlauben lediglich die Analyse einzelner Messpunkte. Das Fraunhoferinstitut für Physikalische Mestechnik IPM, Freiburg, hat in den letzten Jahren ein System zur bildgebenden, also ortsaufgelösten Fluoreszenzmessung entwickelt. Das Fluoreszenz-Messsystem sorgt für die automatische Oberflächeninspektion großer Bauteile direkt in der Produktionslinie. Zur Analyse erzeugt ein UV-Laser mithilfe eines Scanners das Fluoreszenzsignal auf einer rund 50 cm x 50 cm großen Fläche. Das Abscannen der gesamten Bauteiloberfläche sorgt so für eine aussagekräftige Abbildung des verunreinigten Bauteils. Das System erfasst dabei selbst kleinste Restverschmutzungen von bis zu 1 µg pro Quadratzentimeter.
Das Ergebnis ist nicht nur eine vollständige Detektion der Oberfläche auf Schmutzpartikel oder –filme sondern auch ein für den Werker direkt verwertbares Abbild der Verschmutzungsverteilung der Objektoberfläche. Mit diesen Daten lassen sich dann qualitätsbestimmende Produktionsprozesse optimieren und kontrollieren.