Rekonstruktion hochporöser Strukturen

FIB-REM ist eine Serienschnitttechnik, die es ermöglicht, Materialstrukturen mit Auflösungen im Bereich < 10 nm räumlich abzubilden. Es ist jedoch schwierig, die feste Komponente aus dem resultierenden Stapel von REM-Bildern zu rekonstruieren, weil tieferliegende Strukturen in die aktuelle Ebene "durchscheinen". Der morphologische Segmentierungsalgorithmus vom Fraunhofer ITWM löst dieses Problem. Um die Segmentierungsqualität zu bewerten, wurde eine Methode entwickelt, um realitätsnahe synthetische FIB-REM-Bilder poröser Strukturen zu simulieren.

Synthetisches REM-Bild eines Booleschen Modells
© Fraunhofer ITWM
Synthetisches REM-Bild eines Booleschen Modells
Segmentierungsergebnis
© Fraunhofer ITWM
Segmentierungsergebnis
Falsch klassifizierte Pixel
© Fraunhofer ITWM
Falsch klassifizierte Pixel (11% im Ausschnitt)